2025-07-19 注册会员(免费) 我的商务中心 广告服务 最新发布  首页
首 页 供求商机 产品库 公司库 产品报价 化工资讯 行业展会 价格行情 分析预测 人才招聘 化工词典 产品专题
行业专网: 石油网 | 无机网 | 有机网 | 塑料网 | 橡胶网 | 涂料网 | 农化网 | 助剂网 | 设备网 | 仪器网 | 煤炭网 | 环保 | 建材 | 回收 | 物流
您的位置:主页 > 化工资讯 > 氢氧化四甲基胺对硅的刻蚀
氢氧化四甲基胺对硅的刻蚀

2025-07-19 化工产品网

氢氧化四甲基胺(TMAH)是一种常用的硅刻蚀液。它是一种具有强碱性的有机化合物,可以在高温下迅速刻蚀硅表面,使其形成所需的结构。

TMAH的刻蚀机理是通过氢氧化物离子(OH-)的攻击来达到的。在高温下,TMAH中的OH-离子会与硅表面的Si-O键形成水解反应,从而产生二氧化硅(SiO2)和甲醇(CH3OH)。这些产物与TMAH反应,再次释放OH-离子,从而形成一个刻蚀的循环。

TMAH的刻蚀速率与温度、浓度、时间和硅的取向等因素有关。通常,较高浓度和温度下的刻蚀速率更快。同时,TMAH对于[100]晶向的硅表面刻蚀速率最快,对于[111]晶向的硅表面刻蚀速率最慢。

但是,TMAH也存在一些缺点。首先,它是一种有机化合物,具有挥发性和毒性,需要在实验室中谨慎操作。其次,TMAH的刻蚀速率难以控制,容易导致表面不均匀或过度刻蚀。此外,TMAH还会对光刻胶产生损伤,因此需要特殊处理。

综上所述,TMAH是一种常用的硅刻蚀液,其刻蚀机理是通过氢氧化物离子的攻击实现的。尽管存在一些缺点,但在正确的条件下,TMAH可以快速、有效地刻蚀硅表面,为微电子制造和微纳加工提供了重要的工具。


关键词: eva泡棉生产厂商 碘化甲基二乙基苯基胺鉴别 作者: 化工网
相关信息:
· 三甲基甲氧基硅烷密度
· 薄膜在线测厚系统
· 聚酰亚胺一吨价格
· 聚亚甲基聚苯基异氰酸酯干什么用
· 金莲甲基化学纯橙
· 国能包头煤化工有限责任公司
· 奥美拉唑生产厂家上市公司
· 2023年维生素会涨价吗
· 丙烯酸地坪漆和环氧地坪漆哪个好
· 化工产品价格查询app
· 德国钾盐集团官方网站
· 3-氧代环戊烷羧酸
· 四甲基二乙烯基二硅氮烷对人体有什么危害
· kem价格醋酸乙酯多少钱一吨
· 甲醇测试盒准不准
· 血管内皮因子多高是癌

  免责声明:化工产品网对刊登之所有信息不声明或保证其内容之正确性或可靠性;您于此接受并承认信赖任何信息所生之风险应自行承担。化工产品网,有权但无此义务,改善或更正所刊登信息任何部分之错误或疏失。
热门产品行情
纯碱 烧碱 片碱 硫磺 硫酸 液氯
煤炭 焦炭 硼酸 黄磷 电石 石蜡
氯化钙 碳酸钙 氧化锌 双氧水 碳黑 乙二醇
甲醇 正丁醇 二甲苯 甲苯 纯苯 沥青
TDI DOP 汽油 柴油 塑料 ABS
PP PVC PE LLDPE PS 更多
今日推荐信息
·粒度分析仪的作用 2025-07-19
·柠檬酸三辛酯的车间工艺设计 2025-07-19
·甲基丙烯酸丁脂用途 2025-07-19
·二苯乙基联苯酚聚氧乙烯醚 2025-07-19
·3-氨基-1-丙醇密度 2025-07-19
·全自动服装打包机丙基三乙氧基硅烷 2025-07-19
·氨基磺酸镍电镀技术 2025-07-19
·硅橡胶乳液生产厂家排名 2025-07-19
·氨乙基氨丙基三甲氧基硅烷 2025-07-19
·河北甲醇项目2020 2025-07-19
产品信息导航
无机化工 化学矿 橡胶原料 有机化工
橡胶制品 化学纤维 农药 化肥
涂料 颜料 染料 化学试剂
化学助剂 胶粘剂 化工机械 食品添加剂
塑料 塑料机械 橡胶机械 仪器仪表
原油及制品 合成树脂 其它 环保材料
化工回收 化工物流 工程服务 建材
农产品 商务服务 钢材管材 电工电气
热门资讯排行
·化工厂里原料甲醇输送泵一般选用哪种泵体
·双苯恶唑酸作用与功效
·4羟甲基苯硼酸怎么溶解
·cpu模块的组成
·天津砂浆生产厂家
·对氨基苯磺酸pka
·六甲基二硅氮烷和六甲基二硅胺烷的区别
·浙江胶管厂家有哪些
·氨基磺酸与硝酸钠反应
·分散剂有哪几类苯并三氮唑
热点地区导航
北京 上海 天津 重庆 哈尔滨 长春
沈阳 呼和浩特 石家庄 乌鲁木齐 兰州 银川
太原 济南 西宁 南京 成都 西安
郑州 武汉 合肥 杭州 南昌 长沙
贵阳 昆明 南宁 广州 福州 海口
设为首页 | 加入收藏 | 网站地图 | 隐私声明 | 法律声明 | 服务条款 | 服务指南 | 关于我们 | 每日最新 产品库 商机云
Copyright ©2004-2023 化工产品网